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    硬脆材料的鑽石線鋸加工研究之理論和實驗分析
    • 機械工程系 /108/ 博士
    • 研究生: Ajay Gupta 指導教授: 陳炤彰
    • 固定式磨料或鑽石線鋸切割技術(DWS)隨著技術的進步已逐漸被開發為游離磨料線鋸切削(SWS)的潛在替代品,可用於對硬質和脆性材料進行切片。儘管此技術有許多優點,DWS工藝仍會在切割表面上造成粗糙度、…
    • 點閱:282下載:4

    2

    單晶藍寶石基板之過氧化氫輔助研光製程研究
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 李奕槿 指導教授: 陳炤彰
    • LED在人們日常生活中的影響性是與日俱增,而藍寶石晶圓(Sapphire Wafer)與GaN之晶格相匹配性佳,故在LED中常使用藍寶石晶圓為磊晶鍍膜的承載板,然而由於藍寶石晶圓優異的材料機械性質,…
    • 點閱:249下載:14

    3

    複線式電泳反應式鑽石線鋸加工製程於單晶氧化鋁基板之研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 李奕德 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶藍寶石(Sapphire)是一種高透光性、耐高溫且高硬度的化合物半導體材料,然而也因單晶藍寶石之高硬度和化學穩定性,目前此類晶圓基板的生產大多以鑽石線鋸(Diamond Wire Sawing,…
    • 點閱:312下載:3

    4

    搖擺運動於單晶氧化鋁基板鑽石線鋸切割影響之研究
    • 機械工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 許仙薇 指導教授: 陳炤彰
    • 受到地球能源耗竭之危機,各國開始重視降低碳排量等議題,其中以發光二極體(Light-emitting diode, LED)備受焦點。目前LED基板主要使用材料為單晶氧化鋁或藍寶石基板,此基板大多以…
    • 點閱:268下載:11

    5

    快速熱退火於矽晶碇線鋸加工之製程影響研究
    • 機械工程系 /100/ 碩士
    • 研究生: 鄭守智 指導教授: 陳炤彰 鍾俊輝
    • 受到地球能源日漸缺乏及環境保護意識崛起,京都議定書也強烈限制各國的二氧化碳排放量。因此潔淨的再生能源越來越受到重視,其中太陽能更為研發重點之一,矽晶基板所使用之單晶、多晶基板主要製作技術為複線式線鋸…
    • 點閱:436下載:9

    6

    水解能量於可水解鋁酸鋰基板平坦化製程之研究
    • 機械工程系 /100/ 碩士
    • 研究生: 周炳伸 指導教授: 陳炤彰
    • 化學機械平坦化(Chemical Mechanical Polishing, CMP)因能夠快速移除材料且可達全面平坦化,故常用於半導體製程,而於LED基板產業,因使用與氮化鎵(GaN)晶格匹配的藍…
    • 點閱:174下載:10

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    選擇性電泳沉積之反應式輔助複線式鑽石線鋸於單晶矽晶圓加工研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 陳冠諭 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶矽晶圓為半導體的重要元件,近年來,電子產品被大量使用而導致矽晶圓供不應求,而如何有效率增加矽晶圓的產量是一直以來關切的議題。本研究將延續先前電泳反應式鑽石線鋸製程,並研發一款選擇性電泳沉積(Se…
    • 點閱:232下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/20 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/20 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/20 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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